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近日，中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）采购、品质、安全环境、产品负责人一行11人对我所02专项产品（C₄F₈、HCl、SiF₄及三种高纯混气）进行测试前现场审核。

中芯国际一行参观了我所特气车间中控室及NF₃、WF₆车间现场，检查了C₄F₈、HCl、SiF₄及高纯混气生产线，审核了品质、环保等相关文件，对我所特气产业近期取得的显著成绩给出了肯定，并表示希望与718所共同努力，加快02专项产品的测试进程，以保证02专项的产品尽快实现上线销售。

目前，我所的C₄F₈、HCl、SiF₄已顺利通过中芯审核，并很快完成上线测试。预计明年将实现上线销售。