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国家科技部重大专项办公室邱钢一行到所调研
发布时间:2016/12/17 0:50:08   浏览次数:6605次 


1215日,国家科技部重大专项办公室副巡视员、02专项办公室副主任邱钢一行专程到我所,对我所牵头承担的02专项高纯电子气体研发与产业化项目进行专题调研。集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟秘书长、02专项总体组专家组石瑛、02专项办公室有关领导及专家参加调研。

邱钢一行现场参观了我所派瑞科技产业园特种气体生产现场,重点考察了专项任务的研发进展和产业化情况,听取了李俊华所长相关情况汇报。邱钢对我所作为牵头单位所做的各项工作给予高度评价,对下一步高纯电子气体研发重点提出了诸多建议,并希望我所再接再厉,不断加强技术创新,持续增强核心竞争力,做优做强做大特种气体产业,为国家科技战略实施提供技术保障,为经济社会发展做出更大贡献。

李俊华所长对国家科技部各级领导和各位专家长期以来的关心和支持表示感谢,下一步将继续推动专项工作扎实开展,力争到“十三五”末,将电子气体产业打造成为在业内有影响力的上市公司,培育几个单项产品世界第一,成为世界一流的电子特种气体材料生产服务商。

我所牵头的高纯电子气体研发与产业化项目于2013年初列入02国家科技重大专项。该项目的成功实施,对我国极大规模集成电路制造装备及成套工艺的发展起到了积极的促进作用。
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